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【检测原理】
光合瑕疵在线检测系统用于检测各类在生产过程中表面常见缺陷,系统可以在生产过程中及时的发现产品表面出现的疵点信息，时时反映生产线表面的缺陷信息，完全取代人眼进行表面检测。大大的节省了生产成本，提高了产品质量。
该机构是对面板质量进行在线检测。通过CCD摄像模块采集面板的图像数据，由处理模块接收和处理获取图像数据，判断面板表面是否满足预先的设定，并对不良品自动贴标、报警数据统计和不良分类等处理。
【技术指标】
检测对象：8英寸晶圆体
检测幅宽：任意幅宽
检测速度：Max 600m/min
缺陷类型：漏涂，蚊虫，晶点，麻点，孔洞，杂质，异物等。
检测精度：0.1mm
测宽精度：<0.2mm
缺陷标识：自动声光报警，自动贴标
历史记录：检测过程全记录
【缺陷图像】
